神州八号 发表于 2011-12-14 19:17:46

可参考韩一真空镀膜机

killjackson 发表于 2011-12-15 11:09:19

可以不充氩气，只充氧就行了{:6_155:}
均匀性在你定好离子源角度后重修修正板。

z1206l 发表于 2011-12-26 12:50:17

1 离子源本身的均匀性范围是多少，比如它能覆盖多大的半径？
2 修正档板调了没有?
3 离子源角度调了没有？

另外，理论上讲，离子源的任何参数变动后，都会影响到其均匀性。得重新调整修正档板。
页: 1 [2]
查看完整版本: 离子源与镀膜