yaoting111 发表于 2012-4-10 20:02:32

楼上的
能否告知TOOLING值是如何计算的?
谢啦!!

wdydede 发表于 2012-5-12 00:13:26

关注中,我们也有这样的问题,

魅力薄膜 发表于 2012-8-8 01:10:19

离子源强了,你还能镀的上去膜吗 而且你的离子源中和的好吗。。。不好的话,还是慢慢加 做实验吧。
而且也不一定要改工具因子,差不多达到要求就行了

lkai1014 发表于 2012-8-14 16:52:16

多多学习   {:6_143:}

wdydede 发表于 2012-8-28 00:48:19

这种变化到底是低了,还是高了(折射率)?按照大家的说法折射率变低,光学厚度不变的话则几何厚度增加,则长移(光控),如果是晶控的话,会往短波方向移吗?

royyang 发表于 2013-10-7 09:22:05

关注中

huangdengpin 发表于 2013-11-15 04:47:41

{:6_143:}

huangdengpin 发表于 2013-11-15 04:48:25

{:6_143:}

crl0129 发表于 2013-11-30 13:35:45

不漂移就不正常了!!!恐怕没人敢说他们的设备,从第一炉到最后一炉没有一点变化的吧!!

leehow534 发表于 2014-5-27 23:59:11

我也碰到了,我们的图形忽上忽下,忽宽忽窄,烦死了,不知道什么原因呢

宇宙深处 发表于 2014-5-30 16:23:38

楼主所描述的现象有很强的规律性,这就说明有一个稳定的变量存在,这是有利于问题分析的。
根据楼主的描述应该是个正常的现象,机台被镀物越厚吸水性越强。一炉比一炉的工作真空就会更差。(建议楼主记录每一层的起镀,停镀真空作对比。看看是不是逸气量递增,如果是并且较严重,楼主就要考虑保养机台了)。一些愚见请见谅!

carpty 发表于 2014-6-18 16:14:00

宇宙深处 发表于 2014-5-30 16:23 static/image/common/back.gif
楼主所描述的现象有很强的规律性,这就说明有一个稳定的变量存在,这是有利于问题分析的。
根据楼主的描述 ...

同意楼上的说法{:1_1:}
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