神奇的镀膜机啊，你究竟是怎么了
我的一台老的南光镀膜机，从中秋那天开始突然不行了，莫名其妙抽真空抽到一定数值抽不动了（例如说2.0e-2），然后就找原因，但到处都找不到漏气点。（用无水乙醇测疑似漏点）但是都找不着。想会不会是充氧管漏气，于是拔下来，补了真空泥，再塞进去，重新抽真空，果然就可以了。于是很高兴，以为没问题了。
结果，过2天，突然又不行了，同样的情况，抽真空抽到一定数值，抽不动了。而且是早上第一炉啊。再试充氧管插口，还是没有漏气。不管三七二十一，再拔下来补真空泥，再塞，重新抽真空，于是又可以。
问题是，再过2天，又不行了。第三次干脆什么也不做，放气，直接重新抽，又可以了。。。
然后是隔天又继续完蛋。再试充氧管，居然没效果了，反复再抽真空，到下午，又勉强可以。我都快被折磨死了。。。。
于是认为可能是机械泵的问题。国庆后，先试一趟抽真空，果然抽不动，把泵洗了一遍，弄到全身洗油，再抽，马上见效。
第二天也没问题，于是很高兴。
但第三天，又抽不动了！我快崩溃了。干脆换了个另一台镀膜机的机械泵，再抽真空，又可以了。
但我决定看再隔天的效果。。。。
果然，今天又不行了。。。。
哪位大神能告诉我，这台镀膜机到底是怎么了啊？我内内外外洗了N遍，用无水乙醇把所有的关节处都试过了，死活就是找不到漏气点啊。
而且还是这样，抽几次真空之后就会好些。。。。
救命啊。 那就看看你的门吧！！{:6_145:} 深有体会，我是检查不出来的，我们的南光机和楼主的很像，现在也有这种问题 楼主真不幸啊 ！换机器吧 呵呵呵 只有靠你慢慢想了.好好想.思路要在确.一般想好了一天就OK了. {:6_154:}整个镀膜机几乎就是一寸一寸摸下来的，门也检验过了，观察窗也确认了，橡胶条也换了新的，而且门对应的金属面也是反复擦了又擦。
还是一点用也没有啊。 是不是你真空仪有问题？正常的时候你冲点氧看下真空变化是否正常。还有看下真空规管是不是该换了。 {:6_154:}真空规管也更换了，充氧接头也换了，抽气泵也换了，扩散泵的油刚前几个月做的更换，门口的橡胶条也换了，外壳和机械泵管道处只要是有接缝的地方我都用乙醇测试了，甚至连光控的通光窗口也测过了。还是找不到问题在哪里啊。
正常的时候，充氧什么的完全正常。
真空仪应该也没有问题，不过我没有额外的真空计来证明这一点。 缘睐汝痴 发表于 2011-10-15 05:50 static/image/common/back.gif
深有体会，我是检查不出来的，我们的南光机和楼主的很像，现在也有这种问题
你的症状是什么样的？和我的一模一样吗？有没有考虑请南光的来修？
我这的设备工程师认为就算找他们也未必有用啊。 Jimmy_tang 发表于 2011-10-17 09:56 static/image/common/back.gif
你的症状是什么样的？和我的一模一样吗？有没有考虑请南光的来修？
我这的设备工程师认为就算找他们也未 ...
我们这儿的症状看起来差不多，真空度时好时坏，找了外面的设备机修过来，主要问题还是没有找到，现在怀疑是机械泵有问题。还是凑合着用，除了没有用氦检测仪，几乎每个能检查的地方都检查了，还是检查不到哪里漏气这些问题 不要动太多地方，没有问题的地方恢复回去。记录下来，一步一步的。 唉，机械泵我都换了个新的，还是不行啊。