新人走过,学习中
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楼主要多读书
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本帖最后由 bhutl 于 2014-5-15 14:12 编辑
自己照着算了一遍。对小半径球面ro是个近似值,所以最终推算得到的R也是个近似值。
我对于N=?才能达到理论半径,我想起来了以前做的一个R用干涉仪测半径测十次就是十个不同的R,二十次就是二十个R,后来找原因发现我只有将轮廓PV做到60nm以内才有可能测得相同的R。
但是对ds1234567举例我用公式算了下得不到16.5个圈啊。
http://bbs.oecr.com/forum.php?mod=attachment&aid=ODU5NTN8MTQyMWI4NTV8MTQwMDEzMDcxMXwxMzg4NTZ8ODU3MzQ%3D&noupdate=yes
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