常用精密加工和超精密加工方法,光学加工工艺及检测测试

光天发表于 2004-7-6 00:03:00

常用精密加工和超精密加工方法

常用精密加工和超精密加工方法
<TABLE border=1 width="100%">

<TR>
<TD align=middle bgColor=#ffffe6 width="11%">分类</TD>
<TD align=middle bgColor=#ffffe6 colSpan=2 width="22%">加工方法</TD>
<TD align=middle bgColor=#ffffe6 colSpan=2 width="22%">加工刀具</TD>
<TD align=middle bgColor=#ffffe6 width="9%">精度/μm</TD>
<TD align=middle bgColor=#ffffe6 width="13%">表面粗糙度Ra/μm</TD>
<TD align=middle bgColor=#ffffe6 vAlign=center width="11%">被加工材料</TD>
<TD align=middle bgColor=#ffffe6 vAlign=center width="12%">应用</TD></TR>
<TR>
<TD align=left rowSpan=4 width="11%">刀具切削加工</TD>
<TD align=left rowSpan=4 width="5%">切削</TD>
<TD align=left width="17%">精密、超精密车削</TD>
<TD align=left colSpan=2 rowSpan=3 vAlign=top width="22%">天然单晶金刚石刀具、人造聚晶金刚石刀具、立方氮化硼刀具、陶瓷刀具、硬质合金刀具</TD>
<TD align=middle rowSpan=3 width="9%">1～0.1</TD>
<TD align=middle rowSpan=3 width="13%">0.05～0.008</TD>
<TD align=left rowSpan=3 vAlign=top width="11%">金刚石刀具、有色金属及其合金等软材料，其他材料刀具，各种材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">球、磁盘、反射镜</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">精密、超精密铣削</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">多面棱体</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">精密、超精密镗削</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">活塞销孔</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">微孔钻削</TD>
<TD align=left colSpan=2 vAlign=top width="22%">硬质合金钻头，高速钢钻头</TD>
<TD align=middle width="9%">20～10</TD>
<TD align=middle width="13%">0.2</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">低碳钢、铜、铝、石墨、塑料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">印刷线路板、石墨模具、喷嘴</TD></TR>
<TR>
<TD align=left rowSpan=17 width="11%">磨料加工</TD>
<TD align=left rowSpan=2 width="5%">磨削</TD>
<TD align=left width="17%">精密、超精密砂轮磨削</TD>
<TD align=left rowSpan=2 vAlign=top width="17%">氧化铝、碳化硅、立方氮化硼、金刚石等磨料</TD>
<TD align=left width="5%">砂轮</TD>
<TD align=middle rowSpan=2 width="9%">5～0.5</TD>
<TD align=middle rowSpan=2 width="13%">0.05～0.008</TD>
<TD align=left rowSpan=2 vAlign=top width="11%">黑色金属、硬脆材料、非金属材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">外圆、孔、平面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">精密、超精密砂带磨</TD>
<TD align=left width="5%">砂带</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">平面、外圆磁盘、磁头</TD></TR>
<TR>
<TD align=left rowSpan=4 width="5%">研磨</TD>
<TD align=left width="17%">精密、超精密研磨</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">铸铁、硬木、塑料等研具，氧化铝、碳化硅、金刚石等磨料</TD>
<TD align=middle rowSpan=2 vAlign=center width="9%">
1～0.1</TD>
<TD align=middle rowSpan=2 width="13%">0.025～0.008</TD>
<TD align=left rowSpan=2 vAlign=top width="11%">黑色金属、硬脆材料、非金属材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">外圆、孔、平面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">油石研磨</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">氧化铝油石、玛瑙油石、电铸金刚石油石</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">平面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">磁性研磨</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">磁性磨料</TD>
<TD align=middle rowSpan=2 width="9%">10～1</TD>
<TD align=middle rowSpan=2 width="13%">0.01</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">外圆去毛刺</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">滚动研磨</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">固结磨料、游离磨料、化学或电解作用液体</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属等</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">型腔</TD></TR>
<TR>
<TD align=left rowSpan=9 width="5%">抛光</TD>
<TD align=left width="17%">精密、超精密抛光</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">抛光器氧化铝、氧化铬等磨料</TD>
<TD align=middle width="9%">1～0.1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.025～0.008</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属、铝合金</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">外圆、孔、平面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">弹性发射加工</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">聚氨酯球抛光器、高压抛光液</TD>
<TD align=middle width="9%">0.1～0.001</TD>
<TD align=middle width="13%">0.025～0.008</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属、非金属材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">平面、型面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">液体动力抛光</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">带有楔槽工作表面的抛光器抛光液</TD>
<TD align=middle width="9%">0.1～0.01</TD>
<TD align=middle width="13%">0.025～0.008</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属、非金属材料、有色金属</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">平面、圆柱面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">水合抛光</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">聚氨酯抛光器抛光液</TD>
<TD align=middle width="9%">0.1～0.1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.01</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属、非金属材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">平面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">磁流体抛光</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">非磁性磨料磁流体</TD>
<TD align=middle width="9%">0.1～0.1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.01</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属、非金属材料、有色金属</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">平面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">挤压研抛</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">粘弹性物质磨料</TD>
<TD align=middle width="9%">5</TD>
<TD align=middle width="13%">0.01</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属等</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">型面、型腔去毛刺、倒棱</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">喷射加工</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">磨料液体</TD>
<TD align=middle width="9%">5</TD>
<TD align=middle width="13%">0.01～0.02</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属等</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">孔、型腔</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">砂带研抛</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">砂带接触轮</TD>
<TD align=middle width="9%">1～0.1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.01～0.008</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属、非金属材料、有色金属</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">外圆、孔、平面、型面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">超精研抛</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">研具(脱脂木材，细毛毡)、磨料、纯水</TD>
<TD align=middle width="9%">1～0.1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.01～0.008</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属、非金属材料、有色金属</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">平面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="5%">超精加工</TD>
<TD align=left width="17%">精密超精加工</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">磨条磨削液</TD>
<TD align=middle width="9%">1～0.1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.025～0.01</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属等</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">外圆</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="5%">珩磨</TD>
<TD align=left width="17%">精密珩磨</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">磨条磨削液</TD>
<TD align=middle width="9%">1～0.1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.025～0.01</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属等</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">孔</TD></TR>
<TR>
<TD align=left rowSpan=14 width="11%">特种加工</TD>
<TD align=left rowSpan=2 width="5%">电火花加工</TD>
<TD align=left width="17%">电火花成形加工</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">成形电极，脉冲电源、煤油、去离子水</TD>
<TD align=middle width="9%">50～1</TD>
<TD align=middle width="13%">2.5～0.02</TD>
<TD align=left rowSpan=2 vAlign=top width="11%">导电金属</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">型腔模</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">电火线切割加工</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">钼丝、铜丝、脉冲电源、煤油、去离子水</TD>
<TD align=middle width="9%">20～3</TD>
<TD align=middle width="13%">2.5～0.16</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">冲模、样板(切断开槽)</TD></TR>
<TR>
<TD align=left rowSpan=2 width="5%">电化学加工</TD>
<TD align=left width="17%">电解加工</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">工具极(铜、不锈钢)电解液</TD>
<TD align=middle width="9%">100～3</TD>
<TD align=middle width="13%">1.25～0.06</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">导电金属</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">型孔、型面、型腔</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">电铸</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">导电原模电铸溶液</TD>
<TD align=middle width="9%">1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.02～0.012</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">金属</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">成形小零件</TD></TR>
<TR>
<TD align=left rowSpan=2 width="5%">化学加工</TD>
<TD align=left width="17%">蚀刻</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">掩模板、光敏抗蚀剂、离子束装置、电子束装置</TD>
<TD align=middle width="9%">0.1</TD>
<TD align=middle width="13%">2.5～0.2</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">金属、非金属、半导体</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">刻线、图形</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">化学铣削</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">刻形、光学腐蚀溶液、耐腐蚀涂料</TD>
<TD align=middle width="9%">20～10</TD>
<TD align=middle width="13%">2.5～0.2</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属、有色金属等</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">下料、成形加工(如印刷线路板)</TD></TR>
<TR>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">超声加工</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">超声波发生器、换能器、变幅杆、工具</TD>
<TD align=middle width="9%">30～5</TD>
<TD align=middle width="13%">2.5～0.04</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">任何硬脆金属和非金属</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">型孔、型腔</TD></TR>
<TR>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">微波加工</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">针状电极(钢丝、铱丝)、波导管</TD>
<TD align=middle width="9%">10</TD>
<TD align=middle width="13%">6.3～0.12</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">绝缘材料、半导体</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">打孔</TD></TR>
<TR>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">红外光加工</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">红外光发生器</TD>
<TD align=middle width="9%">10</TD>
<TD align=middle width="13%">6.3～0.12</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">任何材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">打孔、切割</TD></TR>
<TR>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">电子束加工</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">电子枪、真空系统、加工装置(工作台)</TD>
<TD align=middle width="9%">10～1</TD>
<TD align=middle width="13%">6.3～0.12</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">任何材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">微孔、镀膜、焊接、蚀刻</TD></TR>
<TR>
<TD align=left rowSpan=3 width="5%">离子束加工</TD>
<TD align=left width="17%">离子束去除加工</TD>
<TD align=left colSpan=2 rowSpan=3 vAlign=top width="22%">离子枪、真空系统、加工装置(工作台)</TD>
<TD align=middle width="9%">0.01～0.001</TD>
<TD align=middle width="13%">0.02～0.01</TD>
<TD align=left rowSpan=3 vAlign=top width="11%">任何材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">成形表面、刃磨、蚀刻</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">离子束附着加工</TD>
<TD align=middle width="9%">1～0.1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.02～0.01</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">镀膜</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">离子束结合加工</TD>
<TD align=middle width="9%">　</TD>
<TD align=middle width="13%">　</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">注入、掺杂</TD></TR>
<TR>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">激光束加工</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">激光器、加工装置(工作台)</TD>
<TD align=middle width="9%">10～1</TD>
<TD align=middle width="13%">6.3～0.12</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">任何材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">打孔、切割、焊接、热处理</TD></TR>
<TR>
<TD align=left rowSpan=9 width="11%">复合加工</TD>
<TD align=left rowSpan=3 width="5%">电解</TD>
<TD align=left width="17%">精密电解磨削</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">工具极、电解液、砂轮</TD>
<TD align=middle width="9%">20～1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.08～0.01</TD>
<TD align=left rowSpan=2 vAlign=top width="11%">导电黑色金属、硬质合金</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">轧辊、刀具刃磨</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">精密电解研磨</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">工具极、电解液、磨料</TD>
<TD align=middle width="9%">1～0.1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.025～0.008</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">平面、外圆、孔</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">精密电解抛光</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">工具极、电解液、磨料</TD>
<TD align=middle width="9%">10～1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.05～0.008</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">导电金属</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">平面、外圆、孔、型面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left rowSpan=3 width="5%">超声</TD>
<TD align=left width="17%">精密超声车削</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">超声波发生器、换能器、变幅杆、车刀</TD>
<TD align=middle width="9%">5～1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.1～0.01</TD>
<TD align=left rowSpan=2 vAlign=top width="11%">难加工材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">外圆、孔、端面、型面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">精密超声磨削</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">超声波发生器、换能器、变幅杆、砂轮</TD>
<TD align=middle width="9%">3～1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.1～0.01</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">外圆、孔、端面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">精密超声研磨</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">超声波发生器、换能器、变幅杆、研磨剂研具</TD>
<TD align=middle width="9%">1～0.1</TD>
<TD align=middle width="13%">0.025～0.008</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属等硬脆材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">外圆、孔、平面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left rowSpan=3 width="5%">化学</TD>
<TD align=left width="17%">机械化学研磨</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">研具、磨料、化学活化研磨剂</TD>
<TD align=middle width="9%">0.1～0.01</TD>
<TD align=middle width="13%">0.025～0.008</TD>
<TD align=left vAlign=top width="11%">黑色金属、非金属材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">外圆、孔、平面、型面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">机械化学抛光</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">抛光器、增压活化抛光液</TD>
<TD align=middle width="9%">0.01</TD>
<TD align=middle width="9%">0.01</TD>
<TD align=left rowSpan=2 vAlign=top width="11%">各种材料</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">外圆、孔、平面、型面</TD></TR>
<TR>
<TD align=left width="17%">化学机械抛光</TD>
<TD align=left colSpan=2 width="22%">抛光器、增压活化抛光液</TD>
<TD align=middle width="9%">0.01</TD>
<TD align=middle width="9%">0.01</TD>
<TD align=left vAlign=top width="12%">外圆、孔、平面、型面</TD></TR></TABLE>

shifengchen197 发表于 2004-8-9 18:11:00

光天大侠，请问一下有没有相关超精密加工厂家的联系方式，请帮忙。

weijiatao006 发表于 2007-10-12 14:32:48

bu cuo

huweiqian 发表于 2007-11-20 15:25:09

不过，顶一下，搂住是哪的？希望能够认识一下。

juventusxx 发表于 2007-11-23 19:12:17

资料很好，楼主辛苦，正是我所需要的谢谢！

johnson_me 发表于 2007-11-25 14:17:15

有点技术含量！
如果能作成一个word,或PDF文档就更好了，
顺便把相关公司的联系方式加上，那就perfect了

eichun 发表于 2007-11-27 16:47:43

很好的技术文件!正是我想要的!!
辛苦楼主了!

longmin 发表于 2009-4-28 20:48:43

楼主辛苦，正是我所需要的谢谢！

nancy-y 发表于 2009-4-29 14:10:25

目前国内很多都可以做单点金刚石超精密加工~

Contour钻石车刀国内代理：www.opturn.com
nancy@opturn.com
010-62527842
新刀订购，旧刀修磨，欢迎来电咨询。

xqq355400 发表于 2009-4-30 08:12:15

有点模糊啊,要是清楚点就好了

YAS-OPTICS 发表于 2009-5-5 07:08:27

很不错的资料应加精华贴

候鸟发表于 2009-5-9 10:20:18

整理得不错，楼主辛苦了！

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常用精密加工和超精密加工方法