<P>我也編了一個</P><P>可利用<b><FONT color=#0000ff>likeo的方式</FONT></b></P><P><b><FONT color=#0000ff>利用極值點多算出幾個N值(在不同波長下)</FONT></b></P><P><b><FONT color=#0000ff>再用數值方法即可優化出材料的色散囉</FONT></b></P>
<P>这类方法受测量精度的影响仅有参考价值,精确测量需用椭偏仪。还有在线用的椭偏仪,更好用。</P>
<P><FONT face=宋体 size=3>我们也是用Likeoe这个方法的,不过材料实验的工艺参数要结合膜系设计固定下来,在用到种膜层材料时,要结合所做材料实验时的工艺参数,轻易不要改变工艺参数</FONT></P>
<P>我用这种方法得到的薄膜厚度与用椭偏仪测出来的结果总是小7,8%左右,如果椭偏仪的结果更准确的话,那就是说测试光谱蓝移.如果真是光谱蓝移,是不是由于材料的吸收引起的,还有就是吸收真会有这麽大的影响吗?</P>
<P>我不认为椭偏仪就更准,因为椭偏仪对表层敏感,而表层的折射率与整个平均折射率是不同的,因此也不能全信椭偏仪的数据,但可参考。我认为最准的还是用台阶仪直接测,只要台阶做得好,数据准确度相对还高一点。</P>
<DIV class=quote><B>以下是引用<I>eagle1</I>在2004-6-25 21:53:02的发言:</B>
<P>那就是说测试光谱蓝移.如果真是光谱蓝移,是不是由于材料的吸收引起的,还有就是吸收真会有这麽大的影响吗?</P></DIV>
<P>吸收会蓝移吗?我用TFCALC模拟,怎么是红移呢?</P>
<P>我还是相信椭偏仪的,其测量精度比台阶仪低不到哪去,而且它还能计算折射率,而台阶只能测物理厚度。难道物理厚度测的准就能反映真实情况吗?</P><P>折射率取的不同,红移兰移都可能</P>
<P>精确的做法是有椭偏仪来测量。</P>
你的计算结果跟你的测量仪器的精度有关。可能你没有对测量曲线进行处理,才会导致得出的结果跟实验偏差较大
<P>首先判断透过率曲线的级次,在脑中要明确的是,当膜的折射率大于基底时,所有的极小值都是奇数个四分之一膜厚,当膜的折射率小于基底时,所有的极大值都是奇数个四分之一膜厚,根据前面分析,这儿当然是极小值啦。如果没有折射率色散,相邻两个极值之间 的波长位置的比值应为k/(k+1), k=1,3,5,7....(设第一个极值位置波长为λ1,相邻的另一个极值位置波长为λ2,这里假设λ2的级次高于λ1,所以λ1>λ2,则kλ1/4=nd, (k+1)λ2/4=nd,两者比较后,就得出λ1/λ2=(k+1)/k )。我们来看891.0nm和1184nm这两个极值,1184/891=1.328, 所以判断k=3,于是根据kλ1/4=nd 有 d=kλ1/4n=3*1184/(4*1.91)=464.9nm。</P><P>我怎么感觉应该是λ1/λ2=(k+2)/k,极值点不是应该相差2嘛</P>
<P>回:cjjiang</P><P>注意是两个相邻的极值点,不是相邻的极大值或极小值,这儿说的相邻极值点,一个是极大值,另一个心为极小值,反之亦然。</P>
<P>用 TFCALC 模擬再比對,這樣可能較快吧!</P>