vietti 发表于 2004-4-27 22:42:00

[讨论]关于蒸发挡板

<P>预熔时膜料蒸发到挡板上，但并不能附着上去，就象一层灰附在上面</P>
<P>挡板一开关，膜料被甩得到处都是。</P>
<P>有什么好的解决办法？</P>
<P>是因为挡板处沉积速率太高导致无法在挡板上镀上去吗？</P>
<P>这是普遍现象吗？</P>

zz 发表于 2004-4-28 16:10:00

MGF2?

vietti 发表于 2004-4-28 18:36:00

<P>是否因为挡板太光滑？</P>

zz 发表于 2004-4-28 23:48:00

那产品不是更光滑，不要镀膜了

wanhj 发表于 2004-4-29 07:53:00

你现在使用的是什么膜料?

vietti 发表于 2004-4-29 19:38:00

<P>SiO2,Al2O3</P><P>难道因为挡板处蒸发速率太大，来不及形成膜层？</P>

wanhj 发表于 2004-4-30 07:33:00

<P>能说一下成膜条件吗?</P>

coatingli 发表于 2004-4-30 07:58:00

我想是因为镀了好几锅，然后经常要加热，降温后开门，后又加热，重复进行，这样形成的膜层肯定会很疏松拉。最好是每次镀膜时将挡板用铝铂包好，镀完一锅后再更换新的铝箔

zheng 发表于 2004-5-1 05:24:00

<P>Al2O3很容易发生这样的现象一般 1.把挡板用喷砂机喷一下砂,2.每次打开真空室门时注意用吸尘器清扫 就没什么问题了.</P>

lazulite 发表于 2004-5-4 19:24:00

档板再加一层铁网吧，增加附获面积，很有效的。

gxfdllg 发表于 2012-3-26 17:58:01

{:6_140:}以上说的很有用，可以采取！！我们也是这样做的！

新手求教 发表于 2012-5-10 21:46:58

我们是加了铁网，然后每罩都要喷砂
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