谁能提供镀制工艺参数
<P>我要镀制激光反射膜</P><P>膜料是Ta2O5和SiO2</P>
镀制激光反射膜请使用膜料ZrO2和SiO2 。 <P>镀制激光反射膜请使用膜料ZrO2和SiO2 </P><P>波长????膜系??????????</P> <P><img src="http://bbs.oecr.com/Skins/default/topicface/face1.gif">马大狭:请问激光反射膜的波长多少为最合适?</P><P> 谢谢!</P> <P>激光膜的种类(Laser)波长:</P><P>F2---157nm </P><P>ArF---193nm</P><P>KrF---248nm</P><P>Xecl--308nm</P><P>Xef---351~355nm</P><P>He-cd---325nm</P><P>N2---337nm</P><P>Ar---351~364nm</P><P><FONT color=#ff3300> " 激光反射膜的波长多少为最合适?"</FONT> 看你做那一波长(多点)的激光反射膜,根据波长点(多点)的要求进行膜系设计。</P> 为减少吸收,镀激光反射膜最好用ZrO2,SiO2
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