如何防止油扩散泵返油，提高抽速，提高镀膜质量
本帖最后由 yangwenhai777 于 2011-7-8 15:27 编辑超低温捕集泵
应用原理：
在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。超低温捕集泵则是解决问题的上佳选择。
超低温捕集泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60—90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8Torr、10ˉ5Pa）
在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类（见图）：
1、水汽捕集器
它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。
2、超低温冷阱
放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装或者同时安装：主要性能特点：
• 快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60—90%；
• 降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，最低可到-145℃；
• 3分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;
• 一台设备可设计两路负载输出；
• 进口压缩机，环保混合型制冷剂;
• 具有两路负载入口和出口温度显示、本机温度显示；
• 当待机温度到达后有指示灯提示，可以开始制冷；
• 压缩机排气过高、压力过高保护；
主要零部件产地：
1.压缩机： 美优乐（进口）
2.压力继电器： 丹 麦 DANFOSS
3.干燥过滤器： 丹 麦 DANFOSS
4.压力控制器： 丹 麦 DANFOSS
5.电磁阀： 丹 麦 DANFOSS
6.温度继电器： 德 国 LR
7.中间继电器： 日 本 OMRON
8.温度 控 制： 日 本 理化RKC
冷凝盘管的制作：
根据设备的实际情况，我们可以为您制作不同形状的冷凝盘管。输入、输出的接口：
冷凝盘管从真空腔内穿过腔壁时，由于管道温度与腔壁温差较大，如果直接焊接，冷量将会有较大损失，腔壁结霜严重。这就需要一个长约20厘米的薄壁不锈钢管做成的绝热装置来解决，它可以做成活口（见图），也可以不用密封垫，直接焊接到真空腔壁。TH系列低温捕集泵主要性能指标
型号 TH-135-5P TH-135-7P TH-135-10P TH-135-12P TH-135-15P
工作温度（℃） -120℃至-145℃
压缩机功率(KW) 4.6 6.3 8.5 10.1 12.3
抽气速度 （l/s） 51000 73000 101000 153000 250000
制冷量（W） 500 1200 1800 2500 3500
冷凝管表面积(m2) 0.3 0.5 0.7 1.0 2.0
冷凝管长度 10m,φ10mm 12m,φ12mm 14m,φ16mm 20m,φ16mm 40m,φ16mm
外形尺寸mm
(宽x深x高) 750x800x1500 900x900x1750 950x980x1750 950x980x1750 900x1080x1780
电压 380V 50HZ
预冷时间（min） ≤30 ≤30 ≤30 ≤40 ≤40
降温时间（min） ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤7
除霜时间(min) ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3
再降温时间(min) ≤5 ≤5 ≤5 ≤6 ≤6
泵口内径（mm） ≤500 ≤800 ≤1000 双路输出 双路输出
适用腔体直径(mm) ≤900 ≤1300 ≤1500 ≤1700 ≤2000
冷却方式 风冷、水冷(t≤30℃) 水冷(t≤30℃)
重 量（Kg） 280 350 450 470 500
销售经理 杨文海
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