HGcoating 发表于 2011-7-13 13:35:13

离子源功率最大1700W,超过这个数字就不稳定了。

lunik 发表于 2011-7-13 13:40:04

这种电子枪的枪丝安装装置和美国产的系列比较一致,如TEMESCAL和TELEMARK的。
这种枪一般都有导磁片的,如果没有的话,容易引起光斑漂移。原来见过一个2手设备,导磁片没了,和你说的情况蛮相似的。
这个机器的设计对均匀性影响超大,不知道是为什么?想不明白。
希望对你有帮助吧。

HGcoating 发表于 2011-7-13 13:44:36

楼上兄弟你所说的导磁片是指枪下面磁铁块吗?除了这个两边两导体还有永久性磁铁。主要是光斑形状非常差,调整都没反应。

HGcoating 发表于 2011-7-13 13:45:38

光斑确实在漂移,特别是镀SI材料时更明显。速率没办稳定下来

lunik 发表于 2011-7-13 13:55:03

在电子枪的两侧,是有2块永磁体。在2块永磁体的上边会固定导磁片。有的还是各2片呢。
这个对光斑影响最大的。加上导磁片后就可以调整大小了。
你们的机器是最新的吗?刚搜了下,PROVAC貌似也做了10年了,不至于这个都不知道吧?

lunik 发表于 2011-7-13 13:55:59

你镀的是SI还是SIo2呢?
我是想看你的图片才登陆的,嘿嘿

HGcoating 发表于 2011-7-13 14:08:14

谢谢楼上兄弟的分析,你所说的导磁片我好像没有发现呢? 我们镀SI材料。机器刚买一年时间啊!

HGcoating 发表于 2011-7-13 14:22:53

这是电子枪照片

HGcoating 发表于 2011-7-13 14:24:43

请教lunik ,这上面是否有导磁片呢?

lunik 发表于 2011-7-14 10:49:29

从上边的图来看,是没有导磁片。这个你最好把电子枪的型号记下,给TELEMARK的人发个EMAIL,他们一般会答复你的。
我们原来的那套2手设备,也是这样的问题,后来加了导磁片后,就好了。

HGcoating 发表于 2011-7-15 11:26:52

谁有TELEMARK电子枪的同志啊。说说你们的电子枪是什么样的?是否都有导磁片呢?

HGcoating 发表于 2011-7-19 15:01:58

公司运气不好,也可能被厂家忽悠了
页: 1 2 [3] 4 5
查看完整版本: 关于PROVAC真空镀膜机