darly 发表于 2004-2-10 04:55:00

请问溅射膜的附着性如何?

OK!
十分感谢楼上的两位仁兄的说明!
我再摸索一下镀膜工艺,一有眉目
我一定贴出来分享!

heyanch 发表于 2004-2-11 19:07:00

请问溅射膜的附着性如何?

下面引用由darly在 2004/02/05 05:42pm 发表的内容:
是啊!是磁控溅射!
若是有应力产生,为何使
只有边缘出现膜掉落?应该是全面性的剥落啊?
请指教!感谢!

用粘胶带测试时,就不应该从边缘开始,你没见过测试规范吗?我们的要求距离边缘2mm,但即使从边缘拉膜层也没有脱落.

ic5 发表于 2004-2-11 19:41:00

请问溅射膜的附着性如何?

我认为还是由于应力的影响,切割时出现迸裂,肯定是由于应力重新分布所致。

wazxq 发表于 2004-2-14 01:59:00

请问溅射膜的附着性如何?

说应力原因很有道理,如果消应力的话,是不是要将加热减小了。

lazulite 发表于 2004-2-15 03:19:00

请问溅射膜的附着性如何?

材料不同,有不同的内应力,加温有助於减少内应力,
也可以试试把工作气体压力减少。

sunny2002 发表于 2004-2-17 03:25:00

请问溅射膜的附着性如何?

是否可以考虑非平衡磁控溅射?

darly 发表于 2004-2-20 10:31:00

请问溅射膜的附着性如何?

感谢各位大哥的指导!
日前,小弟受到 lazulite兄小小的启示之后,
现在正在尝试将原来的片子加热250~300℃
消除内应力!
不知可不可行,试试看呗!

wazxq 发表于 2004-2-20 21:09:00

请问溅射膜的附着性如何?

错了,降温才有助于减少应力,想想看镀膜时温度250,镀完后20度

zz 发表于 2004-3-10 23:40:00

请问溅射膜的附着性如何?

应力问题了
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