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下面引用由Portia在 2003/07/30 04:28pm 发表的内容:是啊,适用的才是最好的!
对了,cotou,现在的离子源一般都是双灯丝结构的,而且可以自动监测灯丝工作状态,并可自动切换,也就是当现用灯丝出问题时离子源自动切换到另外一根灯丝。
当然长期工作后,离子源肯 ...
个人认为,
如果是短时间,要求精度不高,阴极灯丝外露是不错的方式
更换的速度快,
又可以直接看到一些现象,对镀膜工艺的提升一定有帮助
当精度要求高时,
外露的灯丝,可以再视为一个热源,会造成开始和结束镀膜时温度的变化
长时间时,外露的灯丝也会有镀膜材材长在上头
连续长时间工作的时间可能也不是很长?(印象中,单一灯丝10多hr?) 以前有连续镀超过60hr,以这样的要求恐怕会有些问题。
APS的离子源不行,
污染比较重而且还要找他变化的参数,
我比较看重日本的机器。 DENTON的冷阴极离子源
用过这离子源,但要镀上百层的膜层怕是不行,通常我们每镀一次,下次总得换新的灯丝(当然,用的国产灯丝)。不过,倒是没有出过什么毛病,几乎没有修过。
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