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光学镀膜技术及膜系设计
› 关于扩散泵返的油问题
yufe16fisher
发表于 2010-5-29 11:42:02
水冷就可以了吧?抽气效率可以的话,可适当将温度降下,减少返油!
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关于扩散泵返的油问题