风寒雪月缺 发表于 2003-5-21 14:12:00

[讨论]TiO2

TiO2的多层膜镀制中的蒸发速率一般控制在多少?如何来减少它的吸收?

xfx9721 发表于 2003-5-21 17:15:00

Jesus 发表于 2003-5-21 19:57:00

[讨论]TiO2

建议蒸发速率3-8A/s,多充氧气，吸收没问题

风寒雪月缺 发表于 2003-5-22 04:24:00

[讨论]TiO2

快了太容易溅料了.

optionbeam 发表于 2003-5-22 05:45:00

[讨论]TiO2

在5A/s左右,用氧离子束轰击或在沉积室中充氧气!

xianrendu 发表于 2004-1-3 03:20:00

[讨论]TiO2

参考:rate=0.25nm/s
   充氧p=2--3e-2pa
温度250

kent90 发表于 2004-1-3 04:34:00

[讨论]TiO2

速率快了，没有吸收才怪。有离子氧又另当别论。用国产机的话，速率一般为0.2nm/s，但不管怎样，在400nm附近总是有吸收。

fasces9 发表于 2011-7-15 17:15:15

2-3E-2Pa的真空度你们是多少的流量啊？{:6_153:}

ipshjh2005 发表于 2011-8-2 21:16:12

{:6_140:}

wcb674399566 发表于 2011-9-11 10:24:18

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