ji8022 发表于 2011-4-26 15:35:19

磁控反应溅射采用石墨靶如何制备氮化碳薄膜

如题，本人最近实验在20sccm和50sccm流量下镀制氮化炭薄膜，但颜色为咖啡色，酒精擦几次就掉膜。再加温250°C条件下，同样。那位高人能指点一下吗？先谢了！
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