dante_vania 发表于 2011-4-28 17:59:01

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另外，这个跟选择的区域似乎关系不是很大，因为无论你选择的视场有多小，你的极限分辨率就是那样，如何保证是任何视场范围内准确的测量3A以下的粗糙度，这才是问题所在。举个简单的例子，如有1cm*1cm和1mm*1mm的两个视场区域，假定二者都能达到1A的粗糙度，你用极限不能达到1A精度的仪器来测量，是没有办法完成的，最多也只能是测量极限值的后一位估值了。
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查看完整版本: 晶片加工与检测难题交流----牛人请进，牛犊请绕！