weizhijun5180 发表于 2011-4-8 13:33:14

南光机，用光控镀二氧化锆问题

南光机，用光控镀二氧化锆。现在分两个时间段，详细描述：
（1）半个月前，开挡板时，光信号突然下降几格左右，然后缓慢上升之后开始正常的走值，但最后的值也不准确，只能读取关掉挡板后显示的信号值。比如光信号起始20开挡板后变成14，然后开始往上走。
（2）由于以上问题一直没解决，工作又不能停。每次镀ZrO2层数时，只能不停的开关挡板来及时控制查看信号走势，这是没有办法的办法。到现在问题越来越严重了：开挡板时，比如光信号应是从40开始往上走，现在混乱变化，甚至出现负值。信号没有固定走势，来回变化多端。实在不好判断。
现在凡是镀氧化锆的层数都是这样类似的情况，单独开挡板或者单独电子枪加能量都没问题（和论坛里一个同行遇到一样的现象），镀其他膜料时，比如SiO2开关挡板信号完全正常。问题一直找不到解决的办法，恳请各位经验丰富的高手能提出你们宝贵的经验！谢谢

weizhijun5180 发表于 2011-4-9 09:19:02

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xiazg 发表于 2011-4-9 09:50:09

试试我的晶振片吧   15068338773QQ1046118891

Jimmy_tang 发表于 2011-12-30 10:07:01

LZ搞定这个问题了吗？还没有的话，要不你把膜料换个池子试试看？

dcjlcm 发表于 2011-12-30 23:58:06

看看是不是挡板档住了部分信号

Jimmy_tang 发表于 2011-12-31 08:45:32

应该不是，他也说了，SiO2就没问题。

yibi11 发表于 2011-12-31 09:38:45

楼主用的是上反射还是下反射？或者楼主用的光源是在真空室下面还是上面？

ipshjh2005 发表于 2012-1-2 20:37:55

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