liuquanjing 发表于 2003-4-24 19:11:00

表面粗糙度的等级

请问华中地区有哪家单位可以做粗糙度的检验?另外请教大虾和斑竹,使用400目氧化铈,可以到达何种等级?min0.01um可以吗?

xyqy 发表于 2003-4-24 21:55:00

表面粗糙度的等级

一般只是说能够抛到什么光洁度,比如使用400目氧化铈,对于K9材料来说,应该可以抛出1级光洁度,我曾经检验过抛光的光洁度可以达到20埃以内没问题。但是对于你所说的min0.01um指标,我不是特别了解。

lzk 发表于 2003-4-24 23:50:00

表面粗糙度的等级

福州可以测。我前一阵子将光洁度为10/5的片子(siO2抛光的)测出可以达到2nm左右。

wjf990 发表于 2003-4-25 04:27:00

表面粗糙度的等级

min0.01um,指的是Ra,还是Rz?

mincailiu 发表于 2003-4-25 21:11:00

表面粗糙度的等级

使用400目氧化铈加工的K9玻璃元件表面粗糙度Rq大口径(300以上)一般可以在1.2nm,左右,小口径一般在1nm以下。
不知我的回答是否是你需要的。
对了,表面粗糙度与加工工艺方法有关,还与氧化铈有关。

wjf990 发表于 2003-4-26 06:19:00

表面粗糙度的等级

我查了一下,在GB131-83中,Ra0.01um一级,指的是透镜、分划板、棱镜、反射镜(包括金属反射镜)等光学零件的抛光面,在这些表面上不允许有未完全抛光的痕迹。加工方法:用抛光粉在柏油、呢绒或其他抛光模上抛光得来

liuquanjing 发表于 2003-4-29 18:34:00

表面粗糙度的等级

谢谢各位相助!从各位的解答中,我是不是可以认为:400目的抛光粉只可以达到1-2nm的粗糙度?因为,我在抛光石英材料时,发现我即使再怎么延长抛光时间,也达不到更好的光亮度效果(用弱反光观察和测试间接指标,此时已不考虑面形)。那么若要达到〈0.5nm,对于石英玻璃来说,大虾有何高见吗?

mincailiu 发表于 2003-4-29 21:17:00

表面粗糙度的等级

石英材料的粗糙度可以达到5-7nm(Rq);加工时与抛光粉种类、粒度、均匀性、浓度;抛光膜层材料有关,还与检测时的取样面积有关。

lzk 发表于 2003-4-29 22:03:00

表面粗糙度的等级

你可以将抛光后的片子用酸或碱进行清洗一下。因为抛光后表面有一层变质层。那样可能会好一些。是做外延生长用的基片吧。

liuquanjing 发表于 2003-4-29 23:32:00

表面粗糙度的等级

答LZK,不是的。您所说的变质层是所谓抛光化学作用的结果吗,据说是一层折射率较被抛材料高的物质?不知可有研究?是用弱酸碱还是强酸碱去除?
问mincailiu :石英材料的粗糙度只可以达到5-7nm(Rq)?是否是你已知工艺可达到的最好吗?

mincailiu 发表于 2003-4-30 20:56:00

表面粗糙度的等级

大概40%左右

梦幻春雨 发表于 2011-9-30 14:04:01

       我最近刚用角锥产品做了一个粗糙度的实验,其结果相对还比较理想Ra的平均值在0.4nm,Rq:0.5nm以内;只是做这个实验时化费的时间是正常加工的2倍。做法是先用SiO2把面形抛好,然后用更细的粉再抛4~6小时。
    顺便在此请教各位大虾有没更好的方法既可以确保Ra<0.5nm,Rq<0.6nm,又可提高生产效率。谢谢
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