xiaojiang007
发表于 2011-1-12 12:49:24
镀膜时膜料的喷溅点 怎么控制
如题中所说采用的是蒸发式镀膜 镀膜后有基片有麻点 怎么控制麻点的产生呢
liu2011md
发表于 2011-1-13 08:49:52
看什么膜料，MFG2的话预熔时要充分，一定要把气泡与杂质扫走。
JZNT
发表于 2011-1-13 17:24:02
膜料要充分预熔，有离子源的话还要保持离子源是干净的。
z1206l
发表于 2011-1-13 21:10:51
膜料质量 咋样？
b06010914
发表于 2011-1-27 20:59:33
预熔没问题的话 光斑也很关键
zqcotccs
发表于 2011-1-29 13:19:01
镀膜前的预熔要充分，要控制好镀膜的光斑大小和电子枪能量及蒸发速率。不过麻点的成因不仅仅是溅料的原因，还有其他的因素。
xiaojiang007
发表于 2011-2-13 21:14:45
可以具体说说光斑的大小的影响吗
xiaojiang007
发表于 2011-2-13 21:16:06
是不是不能有散斑 就是光斑边缘闪耀很厉害的 容易造成喷料 呢?
fasces9
发表于 2011-7-30 17:02:02
很多人在头疼这个问题，比如我
ghtzna
发表于 2011-8-1 08:21:51
用的什么膜料？
吥哙放弃、、
发表于 2011-8-1 11:37:26
嘿嘿
xiao2011
发表于 2011-8-17 16:38:42
{:6_143:}