freel 发表于 2011-1-5 19:01:03

光学元件表面铜膜如何去除

去除后不能产生表面应力，同时保持原有的粗糙度，大概1nm，机械方法可能会产生应力，化学方法可能会降低粗糙度。
大家有什么好的方法吗？

yang0593 发表于 2011-1-5 19:51:41

用阻尼布抛光皮盘，加上进口多晶体钻石粉W0.25的抛光就可出掉，而且不会破坏光洁度和平面度，

gangyixu 发表于 2011-1-6 08:21:01

什么元件呢？如果是稳定性好的玻璃元件，腐蚀铜的一些化学品不一定会破坏玻璃啊？！{:6_147:}

freel 发表于 2011-1-6 11:45:29

基底是单晶硅。
yang0593 提的方法不会产生表面应力吗？

maofa168 发表于 2011-5-27 01:41:39

用脱膜砂轮

wangjianheng1 发表于 2011-5-27 11:37:49

脱膜剂
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