wzh299 发表于 2010-12-28 21:01:44

金属厚膜怎么做啊？？？

我现在在做电光调制器，为了提高调制速率，行波电极必须用厚电极的。但是这个在湿法腐蚀的时候，存在横向腐蚀的问题，使得电极图形制作相当困难。在下请教各位大虾有经验的谈谈。{:6_149:}

dinghaiyi 发表于 2010-12-29 10:44:57

用干法刻蚀

dinghaiyi 发表于 2010-12-29 11:11:42

你腐蚀的是什么金属？

wzh299 发表于 2010-12-29 14:24:40

金 干法腐蚀试过 但是效果不好 而且几乎没有人用干法腐蚀的 我很少用干法！厚度在5um

wzh299 发表于 2011-1-10 10:09:31

大虾们 帮帮忙啊！

dinghaiyi 发表于 2011-1-13 20:00:12

用碘:碘化钾:水=1:4:40吗?

wzh299 发表于 2011-1-14 09:20:30

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这个好像是腐金液哦，我也是用这个。比例稍微有些不用！
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