MEMS的最新应用
2000年MEMS的市场调查显示，MEMS的市场增长迅速。由1993年的不到10亿美元，到2000点已经增长到140亿。随着新世纪信息技术和生物技术的迅速发展，MEMS的市场更加飞速地扩大。在2000年的市场调查中，可以看到在MEMS商业化的市场中，压力传感器、光开关、惯性传感器和集成微流量控制器分别占据25%、21%、20%、19%和6%的市场。
下面两幅图分别介绍了各种各样的MEMS微传感器、微执行器和微系统在生物传感和汽车工业中的应用，还有其他的一些应用。
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