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stone_zheng 发表于 2010-9-9 12:02:34

SiO2 中频溅镀时通入N2作用？

SiO2 中频溅镀时通入N2作用？
为什么中频磁控溅镀 SiO2 通入N2. 有什么作用？请教

stone_zheng 发表于 2010-9-13 22:12:56

没人理会哦{:6_146:}
留下邮箱，静待您的指教stone.zheng@hotmail.com

banchao 发表于 2011-3-10 15:38:57

使用的什么靶材？SiO2陶瓷靶？

xiao2011 发表于 2012-4-22 22:25:34

学习

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