JZNT 发表于 2010-6-14 14:47:08

日本电子的电子枪在熔料过程中真空度变化求解决方法

近期我的一台机在熔Ta2O5的时候，电子枪启动大约5~10分钟就出现真空度急剧变化，能从-3次方变为0次方出现报警，电子枪是日本电子102的环形坩埚，有哪位大侠知道原因的请告诉我。

sunyan 发表于 2010-6-14 15:55:18

检查一下坩埚冷却水。

JZNT 发表于 2010-6-15 08:37:12

检查了，没问题

sunyan 发表于 2010-6-15 09:23:57

只有在熔Ta2O5时候才这样吗？

JZNT 发表于 2010-6-16 16:10:18

是的，我用的是双枪的，只有Ta2O5的这个出现这样的情况。

sunyan 发表于 2010-6-16 17:53:07

兄弟，是不是膜料自身的事啊，如果允许的话，换别的批次的Ta2O5试试。而且我想问一下，以前用过Ta2O5吗？也就是说用这个设备镀过Ta2O5吗？还是最近才开始用Ta2O5的？

280345601 发表于 2010-6-16 20:00:22

直冷还是间冷的！膜料应该没这么大放气量吧

JZNT 发表于 2010-6-17 14:27:16

膜料在别的机器上时好的，原来也是用的Ta2O5！

sunyan 发表于 2010-6-17 17:20:25

除了Ta2O5其他的膜料还正常，那我就整不明白了，如果其他的膜料以这样，那有可能是真空计有问题，或者显示有问题。

JZNT 发表于 2010-6-18 11:48:30

真空室内有两个真空计不可能同时出问题呀。

sunyan 发表于 2010-6-18 14:38:59

神奇了，楼主知道原因了，一定要分享啊，先谢谢了。

sunyan 发表于 2010-6-18 14:39:51

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