update 发表于 2010-6-6 00:02:32

MEMS器件常用微弱信号检测技术研究

文章针对微机械（MEMS）器件中常用的微弱信号检测技术进行了简单的介绍。针对MEMS器件中微弱信号检测所使用的理论方法进行了总结分析，并提出了一些典型、实用的MEMS微弱信号检测电路。

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